(2025年4月1日)
グループ常務執行役員AUCC事業部長、PhotonicsSolutions事業部長、ウィリアム・マッケンジー
執行役員マーケティング統括部門長、サステナビリティ推進部門長、今井貴紀
執行役員技術本部副本部長兼技術戦略部門長、EUVプロジェクトリーダー、佐藤善彦
執行役員、生産本部長、森純一郎
人事総務部門キャリア支援センター部長兼生産本部製造部門共育センター長（製造部門副部門長）西山浩光
AUCC事業部副事業部長（AUCCProjectリーダー）斎藤純一
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(2025年1月1日)
光プロセス事業部光プロセスGBU第二営業部長、寺本健一
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(2024年10月1日)
事業創出本部研究開発部門副部門長兼新事業開発部長（マーケティング部門副部門長兼クライメイト・ソリューション部長）鮫島貴紀
生産本部製造部門共育センター部長、製造部門長、黒川幸生
光プロセス事業部LightSourceGBUSH技術部長、前田圭逸
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(2024年7月1日)
フォトリソ事業部露光グローバルビジネスユニット開発部長、事業創出本部マーケティング部門ヘルシーライフ・サポート部長、益田秀之
フォトリソ事業部露光グローバルビジネスユニット技術部長（光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー）麻生義典
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