(2025年4月1日)
グループ常務執行役員AUCC事業部長、PhotonicsSolutions事業部長、ウィリアム・マッケンジー
執行役員マーケティング統括部門長、サステナビリティ推進部門長、今井貴紀
執行役員技術本部副本部長兼技術戦略部門長、EUVプロジェクトリーダー、佐藤善彦
執行役員、生産本部長、森純一郎
人事総務部門キャリア支援センター部長兼生産本部製造部門共育センター長（製造部門副部門長）西山浩光
AUCC事業部副事業部長（AUCCProjectリーダー）斎藤純一
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(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
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(2019年10月1日)
事業統括本部光源事業部光源事業戦略室長、島本将弘
事業統括本部光源事業部技術部門第二技術部長、上嶋由紀夫
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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