(2026年4月1日)
価値創造プロセス革新担当兼セールス・アカウント統括、専務執行役員、柳川秀宏
設備・環境担当、常務執行役員、山田正行
先行技術開発担当、常務執行役員、金山健司
調達・品質保証・IT・情報セキュリティ担当、常務執行役員、山峯直利
装置ビジネス・プロセス技術開発担当、常務執行役員、宮本正巳
サービスビジネス担当、執行役員、小竹繁
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(2025年10月1日)
経営戦略本部統括部長（グローバルサービス本部統括部長）宿谷登
営業本部アジア営業部長、金丸真也
営業本部中国営業部長（アジア営業部長）東田将伸
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(2025年6月27日)
取締役、佐々木摩美
取締役、阿部剛士
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(2025年5月1日)
ビジネストランスフォーメーション推進室長、宮守秀勝
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