(2020年6月23日)
社外監査役、浜正孝
社外監査役、三浦亮太
退任（社外監査役）山本高稔
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(2020年6月1日)
CorporateInnovation本部シニアフェロー、門村新吾
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(2020年4月1日)
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、開発戦略部長、瀬川澄江
チーフ・コンプライアンス・オフィサー、コンプライアンス部長、倉本健
第一開発生産本部PF開発部長、若林真士
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(2020年1月1日)
3DI部長（エッチングシステム営業一部長）阿部将明
エッチングシステム営業一部長（TokyoElectronKoreaGroupLeader）董承憲
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(2019年11月1日)
コンプライアンス部長、倉本健
SPE事業本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）稲垣直樹
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(2019年10月1日)
GlobalBusinessPlatform統括本部長兼ファイナンス本部長（ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部担当）取締役兼専務執行役員、布川好一
GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長（人事・総務・CSR本部長）取締役兼常務執行役員法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
財務部長、経理部長、笹川謙
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(2019年8月1日)
九州支社長、大阪支社長、森川弘教
TEL Technology Center America LLC Chairman、常務執行役員CorporateInnovation本部長代理、堤秀介
Corporate Innovation本部副本部長、TEL Technology Center America LLC Chairman、稲垣 直樹
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(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
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(2019年6月19日)
東京エレクトロンエージェンシー取締役兼東京エレクトロンUSホールディングス取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼東京エレクトロンコリア監事兼東京エレクトロン台湾監事兼東京エレクトロンシンガポール取締役兼東京エレクトロン上海監事兼東京エレクトロン上海ロジスティックセンター監事兼東京エレクトロン昆山監事（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）取締役兼専務執行役員、布川好一
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役兼東京エレクトロンBP監査役、常勤監査役、田原計志
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(2019年6月18日)
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部・内部統制担当、布川好一
チーフ・コンプライアンス・オフィサー兼コンプライアンス部長、法務・コンプライアンス本部副本部長、君嶋祥子
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(2019年6月18日)
第四開発生産本部長兼EHS・品質・調達・生産技術部門担当兼山梨事業所長、取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長、佐々木貞夫
業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトリーダー（業務改革プロジェクト副担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）取締役兼常務執行役員フィールドソリューション事業本部長、春原清
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・内部統制担当（常勤監査役）布川好一
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(2019年6月18日)
取締役（監査役）布川好一
取締役、池田世崇
取締役、三田野好伸
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(2019年4月1日)
財務部長、執行役員ファイナンス本部長、川本弘
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(2019年3月1日)
GlobalSales本部Japan部長（Tokyo Electron Shanghai Ltd.BU Product SalesSales VP）中村裕司
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(2019年2月18日)
法務・コンプライアンス本部副本部長、君嶋祥子
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(2018年11月1日)
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(2018年10月1日)
Tokyo Electron India Private Ltd.Member of the Board、札幌事業所長、三岡貴史
（Tokyo Electron India Private Ltd. Member of the Board）取締役・専務執行役員特命担当・業務改革プロジェクト副担当、堀哲朗
Tokyo Electron India Private Ltd. 　President-cum-Managing Director、Tokyo Electron Singapore Pte. Ltd. 　President & Managing Director、伊藤秀樹
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
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(2018年7月1日)
韓国リージョン本部長、JaiHyungWon
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(2018年6月19日)
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）技術戦略本部長、鄭基市
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