(2022年10月1日)
AccountSales本部部長、斎藤雅仁
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(2022年10月1日)
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事兼TokyoElectronTaiwan董事、コーポレートオフィサー兼専務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TELVentureCapitalMemberoftheBoard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
TELManufacturingandEngineeringofAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronShanghai董事兼TokyoElectronSingaporeMemberoftheboard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長兼フィールドソリューション事業本部長、大久保豪
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(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
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(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
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(2022年6月21日)
退任（取締役）常石哲男
退任（取締役）長久保達也
退任（取締役）春原清
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(2022年1月1日)
CorporateInnovation本部デジタルトランスフォーメーション推進部長、松山科子
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(2021年10月1日)
Certas戦略企画部長、浅井一男
エッチングシステム営業三部長、松永幹也
エッチングシステムプロダクトマーケティング室長、持木宏政
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(2021年9月1日)
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(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
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(2021年8月1日)
SPE事業本部長補佐（SPE事業本部付）村松諭
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(2021年7月1日)
ITユニット副ユニットGM、峰島孝之
フィールドソリューション一部長、宇城満山
経理部長、松村晃文
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(2021年7月1日)
GlobalSales本部GM（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）杉村浩孝
サーフェスプレパレーションシステム営業部長（サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長）西新哲也
サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長、クリーントラックマーケティング部長、中島英男
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(2021年6月18日)
東京エレクトロンFE取締役、取締役兼専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長、布川好一
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズアドバイザー・TFF技術担当（東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ執行役員）花田良幸
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(2021年6月18日)
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ専務執行役員）福島弘樹
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ執行役員）井上久司
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロン九州常務執行役員）立山清久
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(2021年6月17日)
執行役員、FSBUGM兼フィールドソリューション一部長、中原哲也
執行役員GlobalSales本部副本部長、神永文彦
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(2021年6月17日)
取締役、市川佐知子
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(2021年5月1日)
CorporateInnovation本部長代理（開発企画推進部長）開発戦略部長、瀬川澄江
CorporateInnovation本部副本部長、東京エレクトロン九州執行役員、北野淳一
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、岡崎浩
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(2021年4月1日)
業務企画部長、執行役員CTSPSBUGM、秋山啓一
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(2020年10月1日)
常務執行役員グローバル戦略担当、ラリー・スミス
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(2020年10月1日)
ITユニットGM（IT本部長）執行役員業務改革プロジェクトサブリーダー兼業務改革推進二部長、七沢豊
人事総務ユニットGM兼総務部長（人事部長）土井信人
人事部長、河野通尚
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