(2021年4月1日)
執行役員（装置事業部プロダクト技術第一部長）装置事業部長、渡辺栄作
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(2021年3月25日)
社長（副社長）中島卓実（なかじま　たくみ）
取締役（執行役員）関根正信
取締役、恒川孝二
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(2019年3月25日)
監査役（管理・支援センター主席）有賀芳樹
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(2019年1月1日)
副社長（キヤノンセミコンダクターコリア社長）中島卓実
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(2018年4月1日)
生産工場長（管理・支援センター所長）副社長、柳楽卓司
管理・支援センター所長（生産工場長）取締役、渡辺敏昭
生産工場副工場長（装置製造部長）執行役員部品製造部長、宮下茂
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(2018年3月26日)
執行役員、調達兼富士事業所長、青木一樹
執行役員、生産工場装置製造兼部品製造部長、宮下茂
執行役員、関根正信
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(2016年1月1日)
装置事業部長（第二装置事業部長）執行役員、吉田達彦
装置事業部副事業部長（経営企画センター副所長）池本学
装置事業部副事業部長（第二装置事業部副事業部長）福永勉
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(2014年4月1日)
第一装置事業部長（開発統括部門長兼プロセス開発Ｃ所長兼プロセス開発第二）取締役、辰巳徹
第二装置事業部長（開発統括副部門長兼コンポーネント開発Ｃ所長）執行役員、吉田達彦
フィールドＳＬ事業部長（フィールドＳＬ事業Ｃ所長）同、藤井隆博
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(2014年3月25日)
監査役（取締役）成田正人
退任（監査役）室田裕義
執行役員、フィールドＳＬ事業Ｃ所長、藤井隆博
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(2013年8月19日)
開発統括部門プロセス開発センタープロセス開発第二（開発センター所長）取締役開発統括部門長兼プロセス開発センター所長、辰巳徹
プロダクトマーケティング室長（営業センター副所長兼営業第一）福永勉
同室プロダクトマーケティング（開発統括部門プロセス開発センタープロセス開発第二）中川隆史
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(2013年8月1日)
事業支援センター貿易管理統括部長、吉沢英樹
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(2013年4月1日)
商品開発センター副所長、制御開発・、関根正信
富士調達、渡辺権一
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(2013年1月1日)
開発統括部門開発センター所長、取締役開発統括部門長兼プロセス開発センター所長、辰巳徹
開発統括部門開発センター副所長、執行役員開発統括部門副部門長、吉田達彦
総合企画センター所長兼総合企画（事業企画センター事業企画）柳沼宏昭
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(2012年10月1日)
生産工場生産管理、宮下昌之
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(2012年7月1日)
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(2012年4月1日)
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(2012年3月26日)
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(2012年3月26日)
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