(2016年6月下旬)
取締役（監査役）服部秀一
取締役、Ｇ＆Ｓグローバル・アドバイザーズ社長橘・フクシマ・、咲江
取締役（監査役）米田正典
取締役、山口伸淑
グループ専務執行役員（取締役兼専務執行役員）徳広慶三
常務執行役員（同兼常務執行役員）システムソリューション事業部長、田中米太
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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(2015年6月26日)
取締役、フューチャーアーキテクト会長兼社長、金丸恭文
常勤監査役（取締役兼専務執行役員経営本部担当）多木正
監査役、りそなビジネスサービス常勤監査役、野崎清二郎
顧問（常勤監査役）神崎伸一郎
退任（監査役）塩畑一男
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(2015年4月1日)
上級執行役員（執行役員）光源事業部長兼営業部門長、内藤宏治
執行役員、バイオメディカル事業部長、川村直樹
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