(2024年10月1日)
事業創出本部研究開発部門副部門長兼新事業開発部長（マーケティング部門副部門長兼クライメイト・ソリューション部長）鮫島貴紀
生産本部製造部門共育センター部長、製造部門長、黒川幸生
光プロセス事業部LightSourceGBUSH技術部長、前田圭逸
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(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2022年4月1日)
経営統括本部グローバル経営戦略部門経営企画部長、楢崎真浩
経営統括本部グローバル経営戦略部門コーポレートコミュニケーション部長、橋本潔
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門人事部長、坂口久美子
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門総務部長、川津光平
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門リスクマネジメント部長、釜谷佳治
事業統括本部光源事業部プロジェクショングローバルビジネスユニット営業部長、プロジェクショングローバルビジネスユニット長、渡辺剛徳
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(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
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