(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2022年4月1日)
経営統括本部グローバル経営戦略部門経営企画部長、楢崎真浩
経営統括本部グローバル経営戦略部門コーポレートコミュニケーション部長、橋本潔
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門人事部長、坂口久美子
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門総務部長、川津光平
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門リスクマネジメント部長、釜谷佳治
事業統括本部光源事業部プロジェクショングローバルビジネスユニット営業部長、プロジェクショングローバルビジネスユニット長、渡辺剛徳
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(2018年4月1日)
システムソリューション事業部副事業部長（システムソリューション事業部次長）執行役員マーケティング＆イノベーション部門長兼ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、井ノ迫伸啓
社長統括本部経営戦略部門長、社長統括本部次長兼経営企画部長・、朝日崇文
品質保証部門長、同統括本部人事総務戦略部門総務・ＲＭ部長・、釜谷佳治
業務監査室長、山崎直美
技術統括本部開発支援室長、山口明康
技術統括本部プロセス評価部長、福田忠司
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(2017年4月1日)
上級執行役員バイオメディカル事業部担当（執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員システムソリューション事業部ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、システムソリューション事業部次長兼マーケティング＆イノベーション部門長、井ノ迫伸啓
グループ上級執行役員（グループ執行役員）中野哲男
社長統括本部経営戦略部門経理財務部長（財務戦略部長）次長、小田聡樹
社長統括本部人事総務戦略部門次長（人事総務戦略部長）丸岡史明
社長統括本部人事総務戦略部門人材戦略部長、流郷紀子
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