(2025年4月1日)
グループ常務執行役員AUCC事業部長、PhotonicsSolutions事業部長、ウィリアム・マッケンジー
執行役員マーケティング統括部門長、サステナビリティ推進部門長、今井貴紀
執行役員技術本部副本部長兼技術戦略部門長、EUVプロジェクトリーダー、佐藤善彦
執行役員、生産本部長、森純一郎
人事総務部門キャリア支援センター部長兼生産本部製造部門共育センター長（製造部門副部門長）西山浩光
AUCC事業部副事業部長（AUCCProjectリーダー）斎藤純一
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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