(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2017年10月1日)
社長統括本部経営戦略部門経営企画部長、社長統括本部次長、朝日崇文
社長統括本部経理財務部長、滝沢秀明
光源事業部技術部門第一技術部長、加藤雅規
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(2014年10月1日)
社長光源事業部長（代表取締役兼執行役員副社長）浜島健爾（はましまけんじ）
取締役相談役（社長）菅田史朗
経営本部担当（人事担当）取締役兼専務執行役員、多木正
ＳＳＬ事業部長（第一事業部長兼第二製造事業部担当）同兼常務執行役員、田中米太
バイオメディカル事業部長（バイオメディカル事業部担当）上級執行役員Ｒ＆Ｄ本部長、林宏樹
光源事業部副事業部長兼製造部門長（第一製造事業部長）上級執行役員、山口敬造
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