(2024年4月1日)
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長）渡辺英典
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、麻生義典
光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、寺本雄介
光プロセス事業部量産技術開発チームリーダー、森本俊一
新技術開発チームリーダー、芦沢則孝
事業創出本部研究開発部門長、渡辺誠
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(2022年4月1日)
経営統括本部グローバル経営戦略部門経営企画部長、楢崎真浩
経営統括本部グローバル経営戦略部門コーポレートコミュニケーション部長、橋本潔
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門人事部長、坂口久美子
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門総務部長、川津光平
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門リスクマネジメント部長、釜谷佳治
事業統括本部光源事業部プロジェクショングローバルビジネスユニット営業部長、プロジェクショングローバルビジネスユニット長、渡辺剛徳
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