(2024年7月1日)
取締役（専務）白忠烈
常務執行役員（上席執行役員）コンポーネント事業本部長、申周勲
常務執行役員開発本部未来技術研究所長兼知財・マテリアル事業推進担当（上席執行役員グローバル技術戦略担当）開発本部長、清田淳也
上席執行役員（執行役員中国ビジネス担当）高橋信次
執行役員、装置事業本部電子機器事業部長、岩井治憲
執行役員、装置事業本部半導体装置事業部長、岩沢宏明
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(2024年1月1日)
安全保障貿易管理部長、上席執行役員生産本部長兼サステナブル経営推進室長、衣川正剛
グローバル技術戦略担当、上席執行役員開発本部長、清田淳也
安全保障貿易管理部付（生産本部付）執行役員、岡正
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(2020年4月1日)
技術情報室長（半導体電子技術研究所長）上席執行役員、斎藤一也
先進技術研究所長（超材料研究所長）清田淳也
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(2017年7月1日)
会長（代表取締役兼執行役員社長）小日向久治
代表取締役兼執行役員社長（取締役兼専務執行役員経営企画室長）岩下節生（いわした　せつお）
経理部・財務部・知財・法務部担当（本社部門統括）取締役兼執行役員副社長、坊昭範
事業企画本部長兼事業企画統括兼グローバル市場・技術戦略室担当（グローバル事業企画室長兼関連会社統括）取締役兼専務執行役員、本吉光
超材料研究所担当（グローバル市場・技術戦略室・半導体電子技術研究所担当）常務執行役員、白忠烈
常務執行役員（執行役員）ＦＰＤ・ＰＶ事業部長、佐藤重光
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