(2020年4月1日)

技術情報室長（半導体電子技術研究所長）上席執行役員、 斎藤一也 　>

先進技術研究所長（超材料研究所長） 清田淳也 　>

出典： https://data.swcms.net/file/ulvac/ja/PressRelease1/auto_20200312478631/pdfFile.pdf

-