(2025年4月1日)
グループ常務執行役員AUCC事業部長、PhotonicsSolutions事業部長、ウィリアム・マッケンジー
執行役員マーケティング統括部門長、サステナビリティ推進部門長、今井貴紀
執行役員技術本部副本部長兼技術戦略部門長、EUVプロジェクトリーダー、佐藤善彦
執行役員、生産本部長、森純一郎
人事総務部門キャリア支援センター部長兼生産本部製造部門共育センター長（製造部門副部門長）西山浩光
AUCC事業部副事業部長（AUCCProjectリーダー）斎藤純一
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(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2023年4月1日)
経営統括本部グループ経営戦略部門長、取締役兼常務執行役員兼CFO経営統括本部長、朝日崇文
経営統括本部事業創出本部マーケティング部門長、上級執行役員事業創出本部長、井ノ迫伸啓
事業統括本部IndustrialProcess事業部長（牛尾貿易上海総経理）執行役員、安部建吉
事業統括本部PhotonicsSolutions・グローバルビジネスユニット長、グループ執行役員、ウィリアム・F・マッケンジー（William F. Mackenzie）
経営統括本部グループ人事総務戦略部門副部門長、ESG推進本部ESG推進室長、今井貴紀
経営統括本部グループ経営戦略部門法務部長、礒部直孝
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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