(2025年5月1日)
AUCC事業部GlobalSalesDivision部門長、AUCC事業部副事業部長、斎藤純一
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(2025年4月1日)
グループ常務執行役員AUCC事業部長、PhotonicsSolutions事業部長、ウィリアム・マッケンジー
執行役員マーケティング統括部門長、サステナビリティ推進部門長、今井貴紀
執行役員技術本部副本部長兼技術戦略部門長、EUVプロジェクトリーダー、佐藤善彦
執行役員、生産本部長、森純一郎
人事総務部門キャリア支援センター部長兼生産本部製造部門共育センター長（製造部門副部門長）西山浩光
AUCC事業部副事業部長（AUCCProjectリーダー）斎藤純一
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(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2023年1月1日)
建築・産業カンパニー企画管理統括部長、村田純
建築・産業カンパニー企画管理統括部企画管理部長、中島広宣
建築・産業カンパニー企画管理統括部業務プロセス改革部長、小口孝文
建築・産業カンパニー開発統括部長、関口信一
建築・産業カンパニー開発統括部モータ事業ビジネスユニット部長、平本和也
建築・産業カンパニー開発統括部ソリューション事業推進部長、大山敦
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