(2021年3月25日)
社長（副社長）中島卓実（なかじま　たくみ）
取締役（執行役員）関根正信
取締役、恒川孝二
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(2014年4月1日)
第一装置事業部長（開発統括部門長兼プロセス開発Ｃ所長兼プロセス開発第二）取締役、辰巳徹
第二装置事業部長（開発統括副部門長兼コンポーネント開発Ｃ所長）執行役員、吉田達彦
フィールドＳＬ事業部長（フィールドＳＬ事業Ｃ所長）同、藤井隆博
第一装置事業部副事業部長（販売統括Ｃ所長）吉原誠
同兼半導体制御開発（商品開発Ｃ副所長兼制御開発）関根正信
第二装置事業部副事業部長兼ストレージ開発（商品開発Ｃ所長）石原雅仁
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