(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2018年4月1日)
常務執行役員（上級執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員、技術統括本部長兼開発部長・、小高大樹
執行役員、社長統括本部次長兼経営戦略部門長兼経営企画部長・、朝日崇文
グループ常務執行役員（グループ上級執行役員）中野哲男
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(2017年4月1日)
上級執行役員バイオメディカル事業部担当（執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員システムソリューション事業部ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、システムソリューション事業部次長兼マーケティング＆イノベーション部門長、井ノ迫伸啓
グループ上級執行役員（グループ執行役員）中野哲男
社長統括本部経営戦略部門経理財務部長（財務戦略部長）次長、小田聡樹
社長統括本部人事総務戦略部門次長（人事総務戦略部長）丸岡史明
社長統括本部人事総務戦略部門人材戦略部長、流郷紀子
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