(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2017年4月1日)
上級執行役員バイオメディカル事業部担当（執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員システムソリューション事業部ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、システムソリューション事業部次長兼マーケティング＆イノベーション部門長、井ノ迫伸啓
グループ上級執行役員（グループ執行役員）中野哲男
社長統括本部経営戦略部門経理財務部長（財務戦略部長）次長、小田聡樹
社長統括本部人事総務戦略部門次長（人事総務戦略部長）丸岡史明
社長統括本部人事総務戦略部門人材戦略部長、流郷紀子
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(2016年11月1日)
システムソリューション事業部新規開発担当（システムソリューション事業部長）常務執行役員、田中米太
システムソリューション事業部長（バイオメディカル事業部長）執行役員、川村直樹
バイオメディカル事業部長（社長統括本部次長兼経営戦略部門法務部長）小川英次
経営戦略部門法務部長、社長統括本部次長兼財務戦略部長・、小田聡樹
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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