(2024年6月27日)
取締役（執行役員人事総務部門担当）木下誠
取締役、増山美佳
退任（取締役）内藤宏治
退任（取締役）川村直樹
退任（取締役）金丸恭文
退任（取締役）橘フクシマ咲江
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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(2013年6月下旬)
取締役兼常務執行役員（上級執行役員）技術統括部長、田中米太
同兼常務執行役員（同）経営本部長兼事業企画・、小林敦之
常勤監査役（取締役兼専務執行役員経営本部担当）大島誠司
顧問（常勤監査役）中山繁樹
退任（取締役）後藤学
同（常勤監査役）中一進
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(2013年4月1日)
経営本部担当（ＣＦＯ経営本部長）取締役兼専務執行役員、大島誠司
事業本部品質保証センター担当、取締役兼常務執行役員、多田龍太郎
経営本部長、上級執行役員事業本部事業企画・、小林敦之
上級執行役員（執行役員）事業本部第一製造事業部長、山口敬造
事業本部第一事業部副事業部長（第一事業部次長兼露光ＢＵ長）執行役員、井上豊治
執行役員、事業本部第二製造事業部、長辻宏二
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