(2014年4月1日)
第一装置事業部長（開発統括部門長兼プロセス開発Ｃ所長兼プロセス開発第二）取締役、辰巳徹
第二装置事業部長（開発統括副部門長兼コンポーネント開発Ｃ所長）執行役員、吉田達彦
フィールドＳＬ事業部長（フィールドＳＬ事業Ｃ所長）同、藤井隆博
第一装置事業部副事業部長（販売統括Ｃ所長）吉原誠
同兼半導体制御開発（商品開発Ｃ副所長兼制御開発）関根正信
第二装置事業部副事業部長兼ストレージ開発（商品開発Ｃ所長）石原雅仁
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(2013年1月1日)
開発統括部門開発センター所長、取締役開発統括部門長兼プロセス開発センター所長、辰巳徹
開発統括部門開発センター副所長、執行役員開発統括部門副部門長、吉田達彦
総合企画センター所長兼総合企画（事業企画センター事業企画）柳沼宏昭
開発統括部門開発管理センター副所長兼開発管理第二（総合企画センター所長兼総合企画）三好歩
環境品質センター環境推進、小泉達則
同ドキュメント推進（ＱＣ管理センターＣＥ推進）柳沢貴幸
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