(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
...続きを見る

(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
...続きを見る

(2019年4月1日)
専務執行役員事業統括本部長（常務執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長兼ASETT戦略室長（グループ常務執行役員）中野哲男
上級執行役員（執行役員）経営戦略部門長兼経営企画部長、朝日崇文
グループ上級執行役員（グループ執行役員）神山和久
事業統括本部光源事業部技術部門長（技術部門次長兼第一技術部長）平尾哲治
事業統括本部光源事業部第一営業部長、小清水悟志
...続きを見る