(2023年4月1日)
専務執行役員事業開発・情報セキュリティ担当兼事業開発本部長（常務執行役員）柳川秀宏
経営企画・広報・IR・サステナビリティ担当、常務執行役員、塚田和徳
調達・新事業所プロジェクト担当、調達・新事業所ものづくり本部長兼富山事業所長、山田正行
執行役員営業担当、営業本部長、宮本正巳
事業開発本部WLA開発部長（プロセス開発本部第三プロセス開発部長）湯浅和宏
グローバルサービス本部サービス戦略企画部長、三浦一成
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(2013年4月1日)
戦略法務室長、本部長兼法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長兼秘書室長、堀内啓
広報・渉外室長、長岡実
経営戦略室長、関忠彦
情報Ｓ統括本部副本部長、谷口茂樹
営業本部副本部長、アジア営業・、塚田和徳
同本部拡販営業、大川晃
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(2011年4月1日)
情報ソリューション本部長（情報ソリューション本部システムソフト開発）鯰江三喜雄
同情報ソフト設計、荒井義幸
メディアシステム本部副本部長、福岡昇平
経営戦略統括本部広報・法務本部部長、鮫島正弘
グループ調達本部部長（グループ調達本部富山調達）石渡敏克
研究開発本部半導体装置システム研究所第一研究部担当部長、菊池俊之
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