(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2023年6月29日)
取締役会議長、取締役、松崎正年
取締役、常務執行役員ESG推進本部長、中野哲男
社外取締役、間下直晃
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2019年4月1日)
専務執行役員事業統括本部長（常務執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長兼ASETT戦略室長（グループ常務執行役員）中野哲男
上級執行役員（執行役員）経営戦略部門長兼経営企画部長、朝日崇文
グループ上級執行役員（グループ執行役員）神山和久
事業統括本部光源事業部技術部門長（技術部門次長兼第一技術部長）平尾哲治
事業統括本部光源事業部第一営業部長、小清水悟志
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