(2023年6月27日)
専務執行役員（社長室長）管理本部長兼経営企画室長、神沢幸宏
執行役員（財務・経理部長）管理本部副本部長兼関係会社管理室長、内藤剛史
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(2021年6月24日)
執行役員開発本部第五開発担当、NP研究開発部長、新井敏成
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(2021年5月7日)
開発本部副本部長（第二開発担当）常務執行役員AOI研究開発部長、米沢良
開発本部副本部長、執行役員FIB研究開発部長兼AI研究開発部長、水村通伸
第二開発担当（第四開発担当兼アニール研究開発部長）執行役員、後藤順
アニール研究開発部長、小杉純一
生産本部副本部長兼CS部長（技術本部副本部長兼リペア技術部長）執行役員、伊藤行男
製造部長（生産部長）竹下正雄
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(2020年6月26日)
常務執行役員（執行役員）取締役生産本部長、天日和仁
常務執行役員経営企画室長（執行役員）取締役管理本部長兼社長室長、神沢幸宏
執行役員、羽森寛
執行役員、芳賀一実
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