(2025年10月1日)
経営管理本部総務部長（人材開発部長）鈴木将史
光学本部第一設計部長、藤島洋平
生産本部調達・物流統括部サプライヤマネジメント部長、永沢勲
精機事業本部FPD装置事業部品質保証部長、渡辺智行
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(2025年7月1日)
精機事業本部次世代事業開発統括部長（半導体装置事業部開発統括部第二開発部長）依田安史
精機事業本部FPD装置事業部副事業部長、第二開発部長、樋口潔
半導体装置事業部開発統括部第二開発部長、堀川浩人
半導体装置事業部生産統括部生産管理部長、角谷通永
インダストリアルソリューションズ事業部事業管理部長、沖佳宏
インダストリアルソリューションズ事業部生産管理部長（事業管理部長）小島久和
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(2025年6月27日)
取締役、ヤマハ会長、中田卓也
退任（取締役）澄田誠
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(2025年6月1日)
財務・経理本部財務企画部長（財務・経理本部財務企画部IR課長）丸地能正
財務・経理本部経理部長（財務・経理本部経理部連結会計課長）辻貴弘
（財務企画部長）財務・経理本部副本部長、藤井英樹
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