(2016年3月1日)
ＩＴ本部長（ＩＴ担当）執行役員、小泉恵資
執行役員ＩＴ本部副本部長、TEL Solar Holding AG会長兼TEL Solar Services AG社長、七沢豊
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
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(2016年1月1日)
社長兼ＣＥＯ事業本部長（副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長）河合利樹（かわいとしき）
取締役相談役（社長兼ＣＥＯ）東哲郎
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(2016年1月1日)
開発・生産担当（倫理・品質担当兼開発・製造統括本部長兼生産本部長）副社長、北山博文
代表取締役社長、CEO事業本部長（代表取締役副社長、COO事業推進統括本部長ビジネスユニット本部長）、河合利樹
コーポレート管理本部長兼経理・財務・知的財産担当（ファイナンス・リーガル本部長）取締役兼常務執行役員、堀哲朗
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(2016年1月1日)
ＣＳＲ推進室長（営業企画管理部部長代理）荻野裕史
（ＣＳＲ推進室長）総務部長、阿曽達也
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（プロダクトマーケティング部長）神原弘光
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(2016年1月1日)
グローバル戦略担当、常務執行役員、バリー・メイヤー
グローバル戦略担当、常務執行役員・欧州リージョン本部長、ディヴィッド・ブラフ
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(2015年12月1日)
ＰＶＥ部長、執行役員・ＰＶＥ担当、笹原信一
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（ＰＶＥ部長）郡宗一郎
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(2015年10月1日)
フィールドソリューション一（フィールドソリューション）神永文彦
フィールドソリューション二（フィールドソリューション部部長代理）中原哲也
ＣＳＲ推進室長、総務・、阿曽達也
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(2015年8月1日)
ＳＰＥ開発企画室長、水沢寧
プロダクトマーケティング部長（プロダクトセールス一部長）神原弘光
東京エレクトロンアメリカ＝Tokyo Electron America, Inc.に出向（プロダクトセールス二部長）水杉一史
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(2015年7月1日)
プロダクトセールス一部部長（プロダクトセールス一部 部長代理）神原弘光
エッチングシステムマーケティング部部長（エッチングシステムマーケティング部 部長代理）樋口公博
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(2015年6月30日)
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(2015年6月19日)
取締役、鄭基市
同、飽本正巳
同、佐々木貞夫
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
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(2015年6月19日)
ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼ＴＥＬエピオン取締役兼ＴＥＬネックス取締役兼ＴＥＬソーラーホールディング取締役兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼東京エレクトロンコリア理事兼東京エレクトロン台湾董事兼東京エレクトロン上海董事（ＴＥＬＦＳＩシンガポール取締役兼ＴＥＬＦＳＩ上海董事兼ＴＥＬＦＳＩ台湾董事兼ＴＥＬＦＳＩコリア取締役）副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長、河合利樹
東京エレクトロン台湾董事、取締役兼専務執行役員グローバル・フィールド統括本部長、伊東晃
東京エレクトロンヨーロッパ会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役（ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼ＴＥＬソーラーホールディング会長兼ＴＥＬソーラー会長兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼ＴＥＬソーラーラボ取締役兼ＴＥＬレーザーシステムズマネージングダイレクター兼ＴＥＬソーラーシンガポール取締役兼ＴＥＬソーラーＵＳ取締役兼ＴＥＬソーラー台湾董事長兼ＴＥＬソーラー上海董事長兼東京エレクトロン昆山董事）取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長、鷲野憲治
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(2015年6月18日)
ＴＥＬソーラーＩＰ取締役（ＴＥＬソーラー取締役）副社長開発・製造統括本部長兼生産本部長、北山博文
ＴＥＬエピオン取締役、取締役兼常務執行役員開発・製造統括本部副本部長兼ＳＰＥ開発本部副本部長、佐々木貞夫
ＴＥＬネックス取締役兼ＴＥＬＦＳＩ取締役、同兼常務執行役員開発・製造統括本部副本部長、飽本正巳
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(2015年6月17日)
輸出・物流管理、河田伸幸
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(2015年6月1日)
サーマルプロセスシステムマーケティング、中谷茂樹
東京エレクトロン東北に出向（サーマルプロセスシステムマーケティング）石田博之
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(2015年4月1日)
ＥＨＳ推進室長、川井正宏
品質推進室長、手島欣親
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(2015年4月1日)
知的財産、佐久間健
欧米営業本部長、中野洋
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(2015年3月1日)
ＭＲＡＭプロジェクト、八木靖司
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