(2013年12月20日)
専務（常務）藤原英博
取締役（執行役員）フォトマスク事業本部長、上野篤雄
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(2013年10月1日)
開発部・品質保証部担当（営業本部担当）取締役、塩尻和也
フォトマスク事業本部長、執行役員、上野篤雄
頂正科技総経理（生産本部長兼技術部統括）橋本昌典
生産本部長（生産本部副本部長）滋賀工場長、平井健策
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(2012年12月下旬)
取締役（常勤監査役）籔内清視
常勤監査役（常務）古田一臣
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(2011年10月1日)
社長（専務）石田昌徳（いしだまさのり）
取締役相談役（社長）野上良忠
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