(2014年9月1日)
総合Ｒ＆Ｄ本部新規事業技術開発統括部門長兼ＭＶ推進プロジェクトチーフ、副社長総合Ｒ＆Ｄ本部長、生駒俊明
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(2014年9月1日)
業務本部ロジスティクス部長、小林稔
半導体装置事業部開発統括部第一開発部長（次世代開発部長）柴崎祐一
半導体装置事業部技術統括部長（開発統括部第一開発部長）川口良一
半導体装置事業部技術統括部カスタマーソリューション部長、白田陽介
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(2014年9月1日)
グループ経営企画室長、取締役兼執行役員常務兼ＣＳＯ兼ＣＦＯ経営推進本部長、曲渕景昌
経営推進本部副本部長（ビジネスマネジメント本部長）執行役員品質保証本部長兼三重ファウンドリＣ副Ｃ長、河野通有
同本部長代理兼ビジネスマネジメント室長（同本部長代理兼計画室長）上野裕之
経営戦略室長（ビジネス推進室長）経営推進本部長代理、花岡寿公
第一Ｍ統括部長（第一営業・Ｍ統括部長）システムＬＳＩ・Ｃ長代理、石田克彦
第二Ｍ統括部長（第二営業・Ｍ統括部長）同Ｃイメージングソリューション事業部長代理、山村聡
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(2014年9月1日)
事務機事業部事務機事業企画、執行役員事務機事業部長兼事務機事業推進兼販売戦略統括室長、平田勝臣
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