(2024年9月1日)
法務室長、上席執行役員愛発科（中国）投資有限公司 董事長、優貝克科技股 份有限公司 副董事長、ULVAC SINGAPORE PTE LTD、ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. 取締役会長、高橋信次
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(2024年7月1日)
取締役（専務）白忠烈
常務執行役員（上席執行役員）コンポーネント事業本部長、申周勲
常務執行役員開発本部未来技術研究所長兼知財・マテリアル事業推進担当（上席執行役員グローバル技術戦略担当）開発本部長、清田淳也
上席執行役員（執行役員中国ビジネス担当）高橋信次
執行役員、装置事業本部電子機器事業部長、岩井治憲
執行役員、装置事業本部半導体装置事業部長、岩沢宏明
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(2020年7月1日)
社長（代表取締役兼執行役員社長人財センター長）岩下節生
副社長グループ会社統括（取締役兼執行役員副社長経営推進センター長兼関連会社担当）本吉光
専務新ビジネス創成・サービスビジネス担当（取締役兼専務執行役員新ビジネス創成センター長）末代政輔
専務イノベーション担当兼アルバック・ファイ社長（取締役兼常務執行役員イノベーションセンター長）白忠烈
上席執行役員財務部長（取締役兼執行役員経営推進センター財務・経理部長）青木貞男
常務執行役員（執行役員）電子機器事業部長、島田鉄也
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(2019年7月1日)
経営推進センター長（事業企画統括兼経営企画室・グローバル事業推進室・グローバル市場・技術戦略室担当）取締役兼執行役員副社長、本吉光
イノベーションセンター長（開発本部長兼技術企画室・超材料研究所・未来技術研究所担当）取締役兼常務執行役員、白忠烈
製造センター長（生産本部長兼FPD・PV事業部・産業機器事業部・調達センター・制御開発センター・生産技術センター担当）取締役兼常務執行役員、佐藤重光
営業・マーケティングセンター長（営業本部長）取締役兼常務執行役員、石黒雅彦
新ビジネス創成センター長（カスタマーサポート本部長）専務執行役員、末代政輔
新ビジネス創成センター副センター長、執行役員、蔡有哲
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