(2024年4月1日)
副社長執行役員管理統括（専務執行役員調達本部長兼品質管理担当）取締役、平田正治郎
副社長執行役員事業統括（専務執行役員事業本部長）取締役、前田繁
経理・法務・知財担当、取締役兼執行役員管理本部長、二宮秀樹
事業本部長（第三ビジネスユニット長）執行役員、平川武則
執行役員事業本部第一ビジネスユニット長（熊本第一事業部長）江藤英敏
執行役員事業本部第三ビジネスユニット長兼管理部長（装置第一事業部長）村上正剛
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(2023年4月1日)
事業本部第一ビジネスユニット熊本第一事業部製造部長、冨田隆二
事業本部第二ビジネスユニット熊本第二事業部長（熊本第二事業部副事業部長兼第三技術部長）楠口雄一
事業本部第二ビジネスユニット関西事業部長（関西事業部副事業部長兼技術部長）村山昌資
事業本部第三ビジネスユニット装置第一事業部営業部長（統括部長）開田準一
事業本部第三ビジネスユニット装置第一事業部第二技術部長（第三技術部長）畠山博
事業本部第三ビジネスユニット装置第一事業部生産管理部長（第一営業部長）高木賢二郎
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(2020年4月1日)
品質管理担当、常務執行役員調達本部長、平田正治郎
管理本部長（経理・IR担当）常務執行役員、藤本靖博
事業本部第二ビジネスユニット熊本第二事業部長（関西事業部長）執行役員、谷口敬隆
事業本部第一ビジネスユニット長（熊本第一事業部長）執行役員、前田繁
事業本部第二ビジネスユニット長兼関西事業部長（熊本第二事業部長）執行役員、小泉正弘
事業本部第四ビジネスユニット長、執行役員デバイスセンター長、平川武則
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(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
常務執行役員事業本部担当（執行役員装置事業部長）藤原五男
常務執行役員（執行役員）CTO研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員事業本部担当（執行役員事業本部長）市原雄一
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