(2015年4月1日)
業務監理担当（業務監理室長）取締役兼専務執行役員、沢田吉博
技術統括Ｃ・設計統括・コストＣ・Ｓｃａｎｎｉｎｇ系事業部門担当兼Ｓｃａｎｎｉｎｇ系事業部門長（ＳＡ・ＳＭ・ＩＢ事業Ｕ・ＳＡ・ＳＭ設計室担当）常務執行役員、田沢豊彦
ＩＥ・ＳＥ事業Ｕ担当（ＩＥ・ＳＥ事業Ｕ副担当）執行役員、中川泰俊
ブランド戦略副担当、執行役員技術統括Ｃ長、福島一則
設計統括・コストＣ長兼Ｓｃａｎｎｉｎｇ系事業部門副事業部門長（ＳＡ・ＳＭ設計室長）執行役員、福田浩章
業務監理室長、執行役員総務本部長、関敦司
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(2014年4月1日)
欧州支配人（電子光学機器営業本部長）同兼常務執行役員、福山幸一
ＥＭ・ＭＳ事業Ｕ担当（ＩＢ事業Ｕ長）常務執行役員、田沢豊彦
ＩＥ・ＳＥ事業Ｕ副担当（ＳＥ事業Ｕ長）執行役員、中川泰俊
フィールドＳＬ事業部長（データムＳＬ事業部副事業部長）同、小島裕次
輸出貿易管理室長、小林浩二
アジア・パシフィック戦略本部副本部長兼半導体営業部主幹（ＡＰ営業戦略室長）向井智昭
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(2013年4月1日)
ＩＥ事業Ｕ担当（商品企画・開発・周辺機器・ＳＡ事業Ｕ・ＳＭ事業Ｕ・ＳＡ・ＳＭ設計室担当）代表取締役兼専務執行役員、岩槻正志
コストＣ・知的財産・品質保証担当兼品質保証室長兼ＩＭＳ統括責任者（コストＣ・知的財産・品質保証副担当）執行役員、若宮亘
開発・基盤技術Ｃ・周辺機器・ＳＡ事業Ｕ・ＳＭ事業Ｕ・ＩＢ事業Ｕ・ＳＡ・ＳＭ設計室担当兼ＩＢ事業Ｕ長（ＳＡ事業Ｕ長兼ＳＭ事業Ｕ長兼商品企画室長）同、田沢豊彦
経営戦略室副室長（戦略企画）杉沢寿志
営業戦略本部長（データムソリューション事業部ソリューションビジネス本部長）若狭崇
開発・基盤技術Ｃ長（ＳＥ事業Ｕ・ＳＥシステム設計）真部弘宣
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