(2023年9月1日)
執行役員、エンジニアリング事業部長、大山俊彦
執行役員、営業本部長、関根悟
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(2023年2月1日)
技術本部長（半導体事業部副事業部長）執行役員、丸山文明
営業本部長（産商事業部副事業部長）関根悟
半導体事業部副事業部長（第一生産部長）永田太
半導体事業部第一生産部長（半導体事業部第一生産部副部長）小川健一郎
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(2022年6月1日)
管理本部長、人事部長、中島孝之
管理本部副本部長、総務部長、飯塚直樹
産商事業部副事業部長（営業二部長）関根悟
半導体事業部環境安全室長（半導体事業部環境安全室主幹）内田貴信
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(2021年12月1日)
エンジニアリング事業部長（技術二部長）大山俊彦
エンジニアリング事業部副事業部長、テクニカルサービス部長、根津勝美
エンジニアリング事業部技術二部長（エンジニアリング事業部技術二部課長）伊藤伸幸
産商事業部営業二部長、産商事業部営業一部営業一課長、関根悟
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