(2021年4月1日)
常務執行役員環境担当兼技術開発本部長（執行役員開発本部副本部長兼技術開発統括部長）錦朋範
マーケティング・戦略本部副本部長、杉原修平
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(2019年4月1日)
国内営業担当兼国内営業本部長、執行役員、河中泰治
開発担当兼開発本部長兼製品開発統括部長兼機器製品開発部長（品質保証センター部長）執行役員、松本敦
技術開発担当兼開発本部副本部長兼技術開発統括部長（商品開発担当兼商品開発本部長）執行役員、錦朋範
執行役員APEM担当、マルク・アンジャルベール
セールス・マーケティング統括本部副本部長、船木崇雄
セールス・マーケティング統括本部盤内機器ソリューション推進部長、後藤清子
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(2017年4月1日)
製品・市場戦略統括部長、常務執行役員セールス・マーケティング統括本部長、アルノ・モンディ
中国事業推進担当（機器製品事業担当兼機器製品事業部事業統括部長）執行役員、河中泰治
ＣＳＲ担当、執行役員人財戦略部長・、村井俊文
執行役員ＡＰＥＭ担当、APEM SAS President 、グレゴリー・サシュニン
同生産担当兼生産本部長兼生産技術センター部長（生産・ＳＣＭ統括本部副本部長）赤松浩二
同新規事業開発担当兼セールス・マーケティング統括本部新規事業開発室長（Ａｕｔｏ―ＩＤ事業部長）原田博丞
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