(2024年4月1日)
開発・基盤技術センター担当、取締役兼専務執行役員、田沢豊彦
専務執行役員（常務執行役員）取締役、矢口勝基
EX事業ユニット担当、常務執行役員Scanning系事業部門長、金山俊克
常務執行役員（執行役員）生産部門長、矢塚慎太郎
IE事業ユニット担当、執行役員、塩田将司
ソリューション開発センター担当、執行役員科学・計測機器サービス事業部長、飯沼力夫
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(2022年4月1日)
営業・業務統括センター副担当（営業・業務統括センター担当）取締役兼専務執行役員、福山幸一
特命グローバルマーケティング担当（EM事業ユニット担当兼Scanning系事業部門長）常務執行役員、大蔵善博
営業・業務統括センター・フィールドソリューション事業担当（デマンド推進本部担当兼営業・業務統括センター副担当）同、小林彰宏
常務執行役員経営企画担当、長塚淳
常務執行役員（執行役員）医用機器事業部長、藤野清孝
同EM事業ユニット担当兼Scanning系事業部門長（同EP事業ユニット長）金山俊克
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(2018年6月27日)
専務執行役員（常務執行役員）取締役、田沢豊彦
取締役兼常務執行役員（執行役員）業務監理室長、関敦司
取締役、中尾浩治
監査役、京王電鉄常勤監査役、黒岩法夫
顧問（代表取締役兼副社長執行役員）岩槻正志
顧問（取締役）赤尾博
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(2018年4月1日)
統括開発技術副担当（統括開発技術担当）代表取締役兼副社長執行役員、岩槻正志
業務統括センター担当、取締役兼専務執行役員、福山幸一
統括開発技術・知的財産担当（Ｓｃａｎｎｉｎｇ系事業部門・ＥＭ担当）取締役兼常務執行役員、田沢豊彦
知的財産・品質保証副担当（知的財産・品質保証・フィールドソリューション事業担当）常務執行役員、若宮亘
品質保証担当兼ＪＧＭＳ責任者（知的財産・品質保証副担当）執行役員、福田浩章
総務担当（総務本部長）執行役員業務管理室長、関敦司
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