(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2015年12月1日)
ＰＶＥ部長、執行役員・ＰＶＥ担当、笹原信一
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（ＰＶＥ部長）郡宗一郎
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(2014年10月1日)
ＰＶＥ担当（ＰＶＥ本部長兼ＰＶＥ営業）執行役員、笹原信一
コーポレートブランド推進室長兼ＣＳＲ推進室長、執行役員、長久保達也
ＰＶＥ、郡宗一郎
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(2012年4月1日)
経理／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンエージェンシー取締役、取締役兼執行役員コーポレート管理本部副本部長、原田芳輝
ＰＶＥ統合プロジェクト推進室長、常務執行役員ＰＶＥ本部長、伊藤高司
ＰＶＥ統合プロジェクト推進担当（経理／財務／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンＢＰ取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役兼ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター兼ＴＥＬエピオンディレクター）執行役員、七沢豊
財務・経営戦略担当兼ＴＥＬエピオンディレクター（経営戦略室長）同知的財産・、堀哲朗
クリーントラック営業第一、執行役員ＣＴＢＵＧＭ、池田世崇
クリーントラックマーケティング、横森憲敬
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