(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2017年4月1日)
執行役常務兼ＣＲＯ（執行役ＣＳＲ本部長）ＣＨＲＯ人事総務本部長、堀越久志
ＣＩＯ兼ＣＴｒＯ（監査室長）執行役、桜井真司
執行役、日立ハイテクソリューションズ社長、飯泉孝
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、科学システム製品本部長、伊東祐博
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長（科学システム営業本部長兼科学システム三部長）高木幹夫
取締役会室長、下野禎彦
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(2016年10月1日)
ＣＳＲ本部リスクマネジメント部長、豊泉健
調達本部調達管理センタ長、調達本部長兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部調達部長・、山本洋祐
科学・医用システム事業統括本部医用システム製品本部長（医用システムセンタ長兼医用システム第一設計部長）高木由充
科学・医用システム事業統括本部医用システムセンタ長兼医用システム第一設計部長、稲吉進
先端産業部材事業統括本部工業材料営業本部副本部長（日立ハイテクノロジーズタイランド社長）竹内康二
先端産業部材事業統括本部工業材料営業本部副本部長兼オートモーティブシステム一部長（オートモーティブシステム部長）小池一生
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