(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
...続きを見る

(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
...続きを見る

(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
...続きを見る