(2022年4月1日)
フェロー兼TOWAレーザーフロント取締役（開発本部・シンギュレーション開発本部担当兼開発本部長兼シンギュレーション開発本部長）取締役兼常務執行役員、浦上浩
開発本部・シンギュレーション開発本部担当、取締役兼常務執行役員コア技術事業本部長、石田耕一
開発本部長（開発本部副本部長兼装置開発兼商品企画室長）高田直毅
シンギュレーション開発本部長（シンギュレーション開発本部副本部長兼開発部長）黄善夏
管理本部法務部長（営業本部営業部長）西森悟
営業本部営業部長、岡本一太郎
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(2018年4月1日)
営業本部・新事業推進本部担当（営業本部長）取締役兼上席執行役員新事業推進本部長、石田耕一
執行役員（東和半導体設備上海有限公司総経理）TOWA半導体設備蘇州有限公司総経理、鈕方舜
執行役員、TOWA韓国株式会社 代表理事、韓相倫
営業本部長（グローバル営業部長）三浦宗男
新事業推進本部新事業推進部長（モールド事業部モールド製造部長）緒方健二
開発本部ソリューション部長（商品企画室参与）黄善夏
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