(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年7月1日)
後工程事業本部長（後工程事業本部副本部長）常務執行役員、秋山啓一
常務執行役員（執行役員）GlobalSales本部副本部長、神永文彦
常務執行役員（執行役員）GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務・、川本弘
人事総務ユニットGM、執行役員法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
執行役員第二開発生産本部長、CorporateInnovation本部副本部長、神原弘光
執行役員、ES副BUGM、樋口公博
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(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）立山清久
CTSPS営業一部長（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）西新哲也
CTSPS営業二部長（クリーントラック営業部長）三浦公也
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(2021年7月1日)
GlobalSales本部GM（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）杉村浩孝
サーフェスプレパレーションシステム営業部長（サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長）西新哲也
サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長、クリーントラックマーケティング部長、中島英男
CTSPSBU業務企画部長（クリーントラック営業部長）小林安彦
クリーントラック営業部長、三浦公也
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