(2023年6月27日)
取締役、西田直人
取締役、中田朋子
退任（取締役）唐津修
退任（取締役）塚越聡一
退任（取締役）藤田敦司
退任（取締役）難波孝一
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(2021年6月23日)
経営執行役員兼CPO（専務執行役員サプライチェーン担当）取締役生産本部長、塚越聡一
経営執行役員兼CFO兼CCO管理本部人事（常務執行役員管理・コンプライアンス担当）取締役管理本部長、藤田敦司
経営執行役員兼CTO（常務執行役員テストテクノロジー担当）取締役ATE・ビジネスグループリーダー、津久井幸一
経営執行役員兼CSO（常務執行役員カスタマーリレーションズ&コーポレートストラテジー担当）取締役AppliedResearch&VentureTeamリーダー兼SystemTestBusinessUnitリーダー、ダグラス・ラフィーバ
経営執行役員（常務執行役員）キース・ハードウィック
経営執行役員兼CCRO（常務執行役員）営業本部長、阪本公哉
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(2020年6月25日)
コンプライアンス担当、取締役兼常務執行役員管理本部長、藤田敦司
取締役テストテクノロジー担当兼ATEビジネスグループリーダー（ATEビジネスグループサブリーダー）常務執行役員ATEビジネスグループメモリテスト事業本部長、津久井幸一
取締役カスタマーリレーションズ&コーポレートストラテジー担当兼AppliedResearch&VentureTeamリーダー、常務執行役員USLabリーダー兼SystemTestBusinessUnitリーダー、ダグラス・ラフィーバ
ATEビジネスグループサブリーダー、常務執行役員テクノロジー開発本部長兼AppliedResearch&VentureTeamJapanLabリーダー、山下和宏
常務執行役員ATEビジネスグループサブリーダー（執行役員）93000事業本部長、ユルゲン・ゼラー
執行役員ATEビジネスグループサブリーダー兼AppliedResearch&VentureTeamBBN&ChinaLabリーダー、SBR・グループサブリーダー、リヒャルト・ユンガー
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(2019年6月26日)
取締役、占部利充
取締役、ニコラス・ベネシュ
取締役、常務執行役員、藤田敦司
取締役、難波孝一
顧問（取締役兼執行役員副社長）明世範
退任（取締役）吉川誠一
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