(2017年10月1日)
ビジネス本部グローバルセールス統轄部韓国営業部長、執行役員グローバルセールス統轄部長、山田光浩
経営戦略統轄部業務改革推進部長、経営戦略統轄部長兼経営管理部長・、石村学
びわこ工場長（経営戦略統轄部副統轄部長兼業務改革推進部長）藤井康徳
びわこ工場副工場長、山口康成
ビジネス本部ＣＣＳ製品統轄部装置管理部長、野地正博
ビジネス本部ＣＣＳ製品統轄部特命担当副統轄部長、佐藤誠一郎
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(2017年4月1日)
ＨＲ・インフラ統轄担当兼ビジネス本部長、代表取締役兼社長執行役員、須原忠浩
びわこ工場担当（ＣＣＳ製品統轄部長）取締役兼常務執行役員、後藤正人
アライアンス担当（開発統轄・彦根地区担当）常務執行役員、内田博文
社長オフィス長、執行役員経営戦略統轄担当、野口裕美
執行役員ＣＣＳ製品統轄部長（開発統轄部長）田中真人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥＧｅｒｍａｎｙ社長（シニア・ストラテジー・エグゼクティブ兼ＣＴＯ室長）大塚純二
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(2017年4月1日)
第三技術開発室長、第一技術開発室長、吉岡正喜
ＳＣｉ室長、西村良明
ＨＲ・インフラ統轄部長兼ＨＲ・インフラ部長（経営戦略統轄部副統轄部長兼経営戦略部長）今井渉
経営戦略統轄部副統轄部長、業務改革推進部長・、藤井康徳
品質統轄部副統轄部長（ＣＣＳ製品統轄部プロダクトマネジメント部長）岩本正巳
ＣＣＳ製品統轄部副統轄部長（アプリケーション技術部長）新居健一郎
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(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
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