(2025年6月25日)
代表取締役兼社長執行役員新規事業・R&D統括（社長）冨田幸二
常務執行役員ケミカルズ・装置システム事業統括兼綜研テクニックス取締役、取締役、岡本秀二
常務執行役員コーポレート・生産統括（狭山事業所長兼綜研テクニックス取締役）取締役、蓮井崇文
IR・財務担当、取締役、滝沢清隆
狭山事業所長、執行役員研究開発本部長、中沢光彦
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(2023年11月1日)
装置システム事業管掌、取締役狭山事業所長、蓮井崇文
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(2023年6月23日)
専務（常務）滝沢清隆
ケミカルズ管掌（上席執行役員ケミカルズ事業統括）取締役、冨田幸二
研究開発・技術管掌（上席執行役員技術統括）取締役、岡本秀二
生産・品質保証管掌（上席執行役員生産統括）取締役狭山事業所長、蓮井崇文
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(2022年6月24日)
取締役、上席執行役員、岡本秀二
取締役、上席執行役員浜岡事業所長、蓮井崇文
監査役（執行役員新規事業企画）野村明
退任（会長）逢坂紀行
退任（取締役）佐藤雅裕
退任（常勤監査役）榎本稔
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