(2023年12月1日)
クリーントラックマーケティング兼サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長、執行役員CTSPSBUGM、鷲尾康裕
CTSPS営業二部長（クリーントラックマーケティング兼サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長）中島英男
DSSBUSPEシステム部シニアディレクター（CTSPS営業二部長）董承憲
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(2023年7月1日)
後工程事業本部長（後工程事業本部副本部長）常務執行役員、秋山啓一
常務執行役員（執行役員）GlobalSales本部副本部長、神永文彦
常務執行役員（執行役員）GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務・、川本弘
人事総務ユニットGM、執行役員法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
執行役員第二開発生産本部長、CorporateInnovation本部副本部長、神原弘光
執行役員、ES副BUGM、樋口公博
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(2020年1月1日)
3DI部長（エッチングシステム営業一部長）阿部将明
エッチングシステム営業一部長（TokyoElectronKoreaGroupLeader）董承憲
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