(2018年10月1日)
生産・技術サポート事業部長（グローバルオペレーション本部長）執行役員、佐久間哲也
ワイヤボンダ事業部副事業部長、小林孝至
ダイアタッチ事業部副事業部長、河村敬人志
生産・技術サポート事業部副事業部長（グローバルオペレーション本部副本部長）グローバル生産統括部長、中田亮
監査室長、佐藤理
欧州市場開拓室長（新川半導体機械総経理）二上輝
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(2016年4月1日)
商品企画部長（技術企画部長）萩原美仁
グローバル技術サポート統括部部長、勝呂明男
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(2014年4月1日)
グローバル技術サービス部長（技術サービス部長兼部品部長）取締役兼常務執行役員営業本部長、長野高志
生産本部副本部長、生産管理部長、佐久間哲也
経理部長、経営企画部長、森琢也
グローバル営業統括部長（フリップチップ営業部長兼営業第一兼営業第二部長）北林靖基
技術企画部長、萩原美仁
技術本部長補佐（ワイヤボンダ技術部長）鈴木康志
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