(2021年6月)
常勤監査役、菅沼孝祐
退任（常勤監査役）渋川直樹
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(2021年4月1日)
取締役兼常務執行役員（執行役員）企画管理部長、川田泉
研究開発センター長（製品開発センター製品開発第三部長）高岡岳彦
生産センター長（研究開発センター長）柴田佳彦
（生産センター長）取締役兼常務執行役員、篠宮秀行
品質保証センター長、取締役兼常務執行役員、寺田正人
社長付（品質保証センター長）菅沼孝祐
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(2016年4月1日)
常務執行役員製品基盤技術・ＲＣ担当（執行役員製品設計・製造部門管掌兼半導体新技術探索担当）取締役、浜下浩一
取締役、本多英司
退任（取締役）小堀秀毅
退任（監査役）宇高道尊
品質保証センター長（製品保証部長）菅沼孝祐
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(2016年4月1日)
研究開発センター化合物半導体開発部長（生産センター第三製造兼センシング事業部化合物半導体製品設計部長）柴田佳彦
研究開発センター新材料デバイス開発部長（化合物半導体開発部長）後藤広将
品質保証センター長（製品保証部長）菅沼孝祐
品質保証センター製品保証部長、丸山和男
製品基盤技術部長、富岡幸治
センシング事業部センサー製品設計部長、竹原聡
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