(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2019年10月1日)
管理本部主計部長、田中和文
管理本部グループ会計部長、吉田隆志
技術本部保安・環境統括部環境管理部長、石川隆一
開発本部デジタルソリューションセンター副所長兼デジタル革新推進部長（電気技術部長）岸田太
開発本部デジタルソリューションセンターデジタル技術部長（シミュレーション技術部長）北村祐一郎
産業ガス事業本部電子機材海外事業部事業部長（電子機材機器海外営業部長）粟津武幸
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(2013年4月1日)
営業統括部長兼ガス営業兼ＲＦタグ導入推進ＰＭ（セパレートガス事業部長兼セパレートガス営業）河野靖彦
海外事業統括部副統括部長（電子機材事業本部海外事業部長兼海外機器特販）富田育典
事業管理統括部プロダクト企画管理（ガス事業部ガス営業）安蔵俊一
機器装置事業部長（営業開発事業部長兼開発・エンジニアリング本部ガスアプ戦略統括Ｐ副統括Ｍ）成田昌信
メディカル事業本部バイオ・メディカル事業部営業、田辺浩義
電子機材機器事業部長（エンジニアリング統括部長兼半導体機器事業部長）阪口正美
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