(2024年5月1日)
執行役員技術開発担当兼計測ラボラトリー長（先行開発ユニット長）柳沢浩一
執行役員製品開発担当兼SSユニット長（AEユニット長）依田元
プロダクト&マーケティング部長（グローバルビジネス開発担当）執行役員、ケネス・ソウ（Kenneth Soh）
事業推進部長（事業推進センター長）事業推進部長兼国際開発支援課長（事業推進センター長兼開発推進課長）高田正彦
SMユニット長（DBユニット長）酒井啓至
グローバルDX推進部長（最高情報責任者（CIO）付主幹）小林淳志
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(2021年7月1日)
フィールドメンテナンス部長（品質保証部長）執行役員、竹内勝広
製造部長（技術企画部長）執行役員、土屋利彦
品質保証部長（製造部長）執行役員、山口力
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(2016年10月1日)
開発・販売・サービス担当（営業本部長）取締役兼執行役員、岡沢尊宏
生産・管理担当（製造部長）取締役兼執行役員、巣山芳計
技術３部長（ＡＴＥ部長）執行役員、村田英典
執行役員技術４部長（開発推進部開発推進課長）手塚清登
製造部長（技術部長）執行役員、水野厚
品質保証部長（開発推進部長）執行役員、竹内勝広
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(2014年1月1日)
技術（品質保証）執行役員、水野厚
開発推進（技術）同、竹内勝広
執行役員品質保証、高木正行
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