(2016年6月17日)
取締役、アメリカンファミリー生命保険日本における代表者兼会長、チャールズ・ディトーマス・レイク二世
常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ（取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ会長兼ＴＥＬテクノロジーセンターアメリカマネージャー兼ＴＥＬエピオン取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ会長）鷲野憲治
退任（取締役）伊東晃
退任（取締役）坂根正弘
グローバル・フィールド統括本部長（事業本部副本部長）常務執行役員、堤秀介
台湾リージョン本部長（台湾リージョン本部副本部長）秦雅章
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(2016年1月1日)
開発・生産担当（倫理・品質担当兼開発・製造統括本部長兼生産本部長）副社長、北山博文
代表取締役社長、CEO事業本部長（代表取締役副社長、COO事業推進統括本部長ビジネスユニット本部長）、河合利樹
コーポレート管理本部長兼経理・財務・知的財産担当（ファイナンス・リーガル本部長）取締役兼常務執行役員、堀哲朗
開発・生産本部長兼成膜担当（開発・製造統括副本部長兼ＳＰＥ開発副本部長）取締役兼常務執行役員、佐々木貞夫
開発・生産本部副本部長兼コーポレート開発部門担当（ＳＰＥ開発本部長）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当（開発・製造統括副本部長）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
グローバル・フィールド統括本部長（ＳＰＥ事業担当兼ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ）取締役兼専務執行役員、伊東晃
常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長（執行役員コーポレート開発本部／ＡＴＳ／ＦＰＤ／ＰＶＥ担当）取締役、鷲野憲治
同ファイナンス・リーガル本部長兼ＩＲ・コンプライアンス・内部統制担当（同コーポレート管理本部副本部長）同、堀哲朗
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