(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年5月1日)
調達・生産企画室長、コーポレート生産本部副本部長兼コーポレート生産本部GM、福島弘樹
GBP企画室ディレクター（調達・生産企画室長）森谷東也
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(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）立山清久
CTSPS営業一部長（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）西新哲也
CTSPS営業二部長（クリーントラック営業部長）三浦公也
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(2021年6月18日)
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ専務執行役員）福島弘樹
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ執行役員）井上久司
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロン九州常務執行役員）立山清久
アドバイザー（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）平井康司
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